ทำไมพัดลมไอออนจึงขาดไม่ได้

การดูดซับไฟฟ้าสถิตของพัดลมไอออน

ในอุตสาหกรรม LCD พื้นผิวกระจกมีขนาดใหญ่ขึ้นและความสามารถในการดึงดูดประจุยังเพิ่มขึ้นด้วย เนื่องจากวัสดุพิมพ์มีขนาดใหญ่การปนเปื้อนใด ๆ อาจส่งผลให้ผลผลิตลดลง เช่นเดียวกับอุตสาหกรรมควบคุมมลพิษอื่น ๆ อุตสาหกรรม LCD กำลังมองหาวัสดุใหม่ที่สามารถแก้ปัญหา ESD ได้ วัสดุที่ใช้ในคลีนรูมมีแนวโน้มที่จะใช้ตัวดูดประจุไอออนแบบป้องกันไฟฟ้าสถิตย์และสามารถลองใช้วัสดุใหม่กับสำลีและเศษผ้าแทนวัสดุแบบดั้งเดิม

ปัญหาที่ใหญ่ที่สุดกับการควบคุม ESD ในห้องสะอาดคือการเคลื่อนไหวของผู้คนในห้องสะอาด เนื่องจากคนใส่ผ้าโพลีเอสเตอร์จำนวนมากพวกเขาสร้างประจุไฟฟ้าจำนวนมาก วิธีเดียวที่จะลบประจุนี้ในห้องสะอาดคือกราวด์

ในห้าปีที่ผ่านมาพบว่าระบบการ์เม้นท์ที่ทำจากส่วนผสมของคาร์บอนไฟเบอร์และผ้าให้ข้อกำหนดห้องสะอาดสำหรับ ISO 5 (Class 100)

แต่ละส่วนของเสื้อผ้ามีค่าการนำไฟฟ้าเท่ากันและมีการเชื่อมต่อไฟฟ้าจากฮูดไปที่พื้นรองเท้าเพียงอย่างเดียว คนที่ทำงานในห้องสะอาดสามารถเดินผ่านตัวนำไฟฟ้าได้โดยไม่ต้องต่อสายดินเมื่อสวมใส่เสื้อผ้าดังกล่าวเพื่อไม่ให้ถูก จำกัด โดยความยาวของสายดิน

การเกิดขึ้นของชุดทำงานดังกล่าวเป็นผลมาจากความต้องการสูงในผลิตภัณฑ์ซึ่งช่วยลดผลผลิตต่ำและอัตราที่ไม่ดีสูงที่เกิดจากปัญหา ESD ในห้องสะอาด

ไม่มีวิธีการซ่อมแซมที่ถูกและรวดเร็วสำหรับการควบคุมพัดลมไอออน ESD กุญแจสำคัญคือการควบคุม ESD เช่นพัดลมไหลลามินาร์แบบแขวนลอยหรือติดตั้งพัดลมไอออนที่อยู่ติดกับวัสดุที่ต้องควบคุม ESD เมื่อขนาดของชิป (IC) ลดลงจึงมีความไวต่อ ESD มากขึ้น ตอนนี้การควบคุม ESD ไม่ได้ จำกัด อยู่ที่การป้องกันเครือข่ายการทำงาน แต่ยังรวมถึงการควบคุมเวเฟอร์และบุคลากรที่ผลิตเวเฟอร์ หลาย บริษัท ที่มีมาตรฐานสูงกำลังควบคุม ESD ด้วยวิธีนี้