จำเป็นต้องกำจัดไฟฟ้าสถิตเพื่อให้แน่ใจว่าระดับการทำให้บริสุทธิ์ห้องสะอาด
คลีนรูมเป็นสิ่งที่ขาดไม่ได้ในหลายอุตสาหกรรม แต่เป็นสิ่งสำคัญอย่างยิ่งสำหรับอุตสาหกรรมไมโครอิเล็คทรอนิคส์ซึ่งการอัพเกรดเทคโนโลยีได้ผลักดันความก้าวหน้าอย่างต่อเนื่องของเทคโนโลยีสะอาด แต่การป้องกันไฟฟ้าสถิตของคลีนรูมเป็นสิ่งที่สำคัญที่สุดเสมอ เนื่องจากอุปกรณ์ไฟฟ้าทุกชนิดที่ผลิตในห้องคลีนรูมจำเป็นต้องมีระบบป้องกันไฟฟ้าสถิตย์เพราะเมื่อผลิตผลิตภัณฑ์ที่มีประสิทธิภาพสูงหากมีการดูดซับไฟฟ้าสถิตฝุ่นที่ถูกดูดซับจะกลายเป็นศูนย์สลายและวัสดุจะทำขึ้น คุณสมบัติของฉนวนลดลง ฯลฯ สามารถผลิตไฟฟ้าสถิตย์ได้ตลอดเวลาบนส่วนประกอบอุปกรณ์และแม้กระทั่งบนผนังหรือพื้น การดูดซับไฟฟ้าสถิตเกิดจากประจุไฟฟ้าสถิตย์ซึ่งทำให้ความสะอาดของห้องสะอาดลดลง ในเวลาเดียวกันปริมาณของอนุภาคในอากาศจะเพิ่มขึ้นหลังจากความสะอาดลดลงซึ่งจะยิ่งทำให้เกิดปรากฏการณ์การดูดซับไฟฟ้าสถิตสูงขึ้น
ดังนั้นห้องปลอดเชื้อควรให้ความสำคัญกับการป้องกันไฟฟ้าสถิตย์พร้อมกับให้ความสำคัญกับการควบคุมมลพิษ จากประสบการณ์ในปัจจุบันการควบคุมจากสามด้านต่อไปนี้เป็นวิธีที่มีประสิทธิภาพและประหยัดที่สุด
1. วัสดุก่อสร้างห้องสะอาดต้องมีไฟฟ้าสถิตย์
เมื่อออกแบบและเลือกวัสดุคุณสามารถใช้วัสดุที่มีแนวโน้มที่จะเกิดไฟฟ้าสถิตน้อยหรือทำให้เกิดไฟฟ้าสถิตย์ได้ การออกแบบห้องคลีนรูมไม่ได้ จำกัด อยู่ที่พื้นป้องกันไฟฟ้าสถิตย์และต้องคำนึงถึงการแบ่งพาร์ติชั่นห้องคลีนรูมผนังและระบบโครงสร้างที่สะอาด ในปัจจุบันเรายังพิจารณาถึงข้อกำหนดของการป้องกันไฟฟ้าสถิตในขณะออกแบบเช่นการเคลือบสารไฟฟ้าสถิตไฟฟ้าสถิตสเปรย์ป้องกันไฟฟ้าสถิตย์เป็นต้นเป็นมาตรการเสริมหรือวิธีการแก้ไขเพื่อเอาชนะไฟฟ้าสถิตย์ ทำให้ห้องสะอาดไม่มีไฟฟ้าสถิตย์
2 ใช้ห้องสะอาดอากาศอุณหภูมิและความชื้นเพื่อควบคุม
ความชื้นในอากาศประมาณ RH50% หรืออุณหภูมิประมาณ 23 ° C ซึ่งเป็นสภาพแวดล้อมที่ป้องกันไฟฟ้าสถิตได้ดี เงื่อนไขการออกแบบช่วยให้มันใกล้เคียงที่สุดเท่าที่จะเป็นไปได้
3 กำจัดร่างกายมนุษย์คิดค่าบริการ
บุคลากรที่เข้ามาในห้องปลอดเชื้อต้องสวมเสื้อผ้าที่สะอาดและป้องกันไฟฟ้าสถิตย์สวมถุงมือป้องกันไฟฟ้าสถิตย์และสวมรองเท้าป้องกันไฟฟ้าสถิตย์เพื่อกำจัดไฟฟ้าสถิตย์ เครื่องมือเช่นรถเข็นในการหมุนเวียนการขนส่งและกล่องควรเป็นผลิตภัณฑ์ป้องกันไฟฟ้าสถิตย์
ไฟฟ้าสถิตย์ไม่เป็นที่ต้องการในหลาย ๆ กรณีและเป็นอันตรายอย่างยิ่งในสถานที่ที่มีก๊าซไวไฟและวัตถุระเบิด แม้ว่าไฟฟ้าสถิตย์มีโอกาสน้อยที่จะทำให้เกิดไฟไหม้หรือการระเบิดในห้องสะอาด แต่ไฟฟ้าสถิตย์ที่เกิดขึ้นในห้องคลีนรูมเป็นอันตรายอย่างยิ่งต่อการเกิดไฟฟ้าสถิตจากผลิตภัณฑ์อิเล็กทรอนิกส์ ดังนั้นการควบคุมไฟฟ้าสถิตในห้องคลีนรูมจึงไม่สามารถละเลยได้