หลักการและข้อควรระวังของการป้องกันไฟฟ้าสถิตในห้องสะอาด
อุบัติเหตุที่เกิดจากไฟฟ้าสถิตในห้องสะอาดมีดังต่อไปนี้:
1.ไฟฟ้าสถิตไฟฟ้าช็อตที่เกิดจากไฟฟ้าสถิตอาจทําให้เกิดความวิตกกังวลและความกลัวของผู้คน, และอาจทําให้เกิดการบาดเจ็บรอง( เช่น, คนตกเนื่องจากไฟฟ้าช็อต, และได้รับบาดเจ็บจากการล้ม); 2.ปล่อยกระแสที่เกิดจากการปล่อยไฟฟ้าสถิตสามารถนําไปสู่ความเสียหายและความเสียหายต่อส่วนประกอบเซมิคอนดักเตอร์ของ ตัวอย่างเช่นหากวงจร P-MOS 50 วงจรถูกวางไว้ในถุงพลาสติกและเขย่าหลายครั้ง 39 ชิ้นจะถูกทําลายอย่างรุนแรงโดยมีอัตราความล้มเหลว 78% นี่เป็นเพราะอุปกรณ์เซมิคอนดักเตอร์ไวต่อการปล่อยไฟฟ้าสถิตมาก
3.คลื่นแม่เหล็กไฟฟ้าที่สร้างขึ้นโดยการปล่อยไฟฟ้าสถิตอาจทําให้เกิดเสียงรบกวนในเครื่องมืออิเล็กทรอนิกส์และอุปกรณ์; 4.ความสว่างของการปล่อยไฟฟ้าสถิตอาจทําให้เกิดความเสียหายต่อสารเรืองแสงเช่นแขนขาถ่ายภาพ; 5.ปรากฏการณ์ทางกลของไฟฟ้าสถิตย์สามารถทําให้ตาข่ายจะถูกปิดกั้นโดยฝุ่นและปั่นเส้นด้ายความโกลาหล, ความลึกการพิมพ์ที่ไม่สม่ําเสมอและการปนเปื้อนของผลิตภัณฑ์;
6.ภัยพิบัติที่อันตรายที่สุดที่เกิดจากการปล่อยไฟฟ้าสถิตคือการระเบิดที่เกิดจากแหล่งกําเนิดไฟที่ดีที่กลายเป็นติดไฟของ ตัวอย่างเช่นจากสถิติวรรณกรรมต่างประเทศจาก 86,000 ยาชาระเบิดที่ใช้ในห้องผ่าตัดมีการระเบิด 36 ครั้งซึ่ง 21 เกิดจากไฟฟ้าสถิต ; อุบัติเหตุไฟฟ้าสถิตส่วนใหญ่อยู่ในการผลิตและการสะสมของไฟฟ้าสถิตย์และการไหลของการไหลของอากาศแรงเสียดทานระหว่างการไหลของอากาศและท่อ tuyere ตัวกรองแรงเสียดทานระหว่างร่างกายมนุษย์และเสื้อผ้าแรงเสียดทานระหว่างเสื้อผ้าการบดการฉีดพ่นเจ็ทติ้ง การดําเนินงานเช่นการล้างกวนพันธะและการปอกเปลือกซึ่งทั้งหมดอาจทําให้เกิดไฟฟ้าสถิต โดยทั่วไปการนําไฟฟ้าที่มีขนาดเล็กลงของตัวนํา (ฉนวน) ยิ่งไหลได้ยากขึ้นหลังจากสร้างประจุแล้วจะยิ่งชาร์จได้ง่ายขึ้นเท่านั้น
ปัญหาไฟฟ้าสถิตย์นั้นร้ายแรงเป็นพิเศษในห้องสะอาดเนื่องจากมีปัจจัยกระบวนการหลายประการที่ผลิตกระแสไฟฟ้าสถิตในห้องสะอาดและวัสดุจํานวนมากในห้องสะอาดเช่นพื้นพลาสติกพื้นผิวลําคอและเสื้อผ้าทํางานมีความต้านทานสูง มันง่ายมากที่จะสร้างไฟฟ้าสถิตและสะสมไฟฟ้าสถิต ก่อนที่ภัยพิบัติไฟฟ้าสถิตย์ของห้องสะอาดไม่ได้ดําเนินการอย่างจริงจังวัสดุเหล่านี้ถูกนํามาใช้อย่างกว้างขวาง