ผลกระทบจากไฟฟ้าสถิต (ESD)
1.1 ปัญหา ESD
การคายประจุไฟฟ้าสถิต (ESE) เป็นการถ่ายโอนประจุที่ไม่สามารถควบคุมได้ระหว่างวัตถุสองอย่างที่มีศักย์ไฟฟ้าที่แตกต่างกัน ผลลัพธ์ที่พบบ่อยที่สุดของ ESD คือความเสียหายต่อผลิตภัณฑ์ที่มีความอ่อนไหวคงที่และความล้มเหลวของอุปกรณ์ ในอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์และอิเล็กทรอนิกส์เช่นเดียวกับในการผลิตอุปกรณ์การแพทย์หรือออปติคอล, ภาพยนตร์สื่อบันทึกมักจะเกิดขึ้น เพื่อลดการสูญเสียที่เกิดจากการคายประจุไฟฟ้าสถิตขอแนะนำให้ใช้โต๊ะทำงานป้องกันไฟฟ้าสถิตย์ในระหว่างการใช้งานเพื่อความปลอดภัยในการผลิต
1.2 ESD ที่เป็นข้อกังวลในอุตสาหกรรม
ในการผลิตอุปกรณ์อิเล็กทรอนิกส์เซมิคอนดักเตอร์รูปทรงเรขาคณิตของอุปกรณ์มีขนาดเล็กลงและเล็กลงเพื่อตอบสนองความต้องการของการย่อขนาดประสิทธิภาพที่สูงขึ้นและความเร็วในการทำงานที่เร็วขึ้น สิ่งนี้ส่งผลให้ความหนาแน่นของอุปกรณ์แยกในเซมิคอนดักเตอร์เวเฟอร์เพิ่มขึ้นและเหตุการณ์ ESD ทำให้เกิดความเสียหายหรือความล้มเหลวของอุปกรณ์ผ่านกลไกต่าง ๆ เช่นการหลอมโลหะการแปรสภาพเป็นแก๊สเส้นเคลือบโลหะ เหตุการณ์ ESD ยังสามารถลดคุณภาพของอุปกรณ์สร้างข้อบกพร่องที่อาจเกิดขึ้นหรือ "การทำงานที่ไม่ดี" แม้ว่าอุปกรณ์สามารถผ่านการทดสอบการผลิตได้ แต่ก็จะล้มเหลวก่อนเวลาอันควร
อุตสาหกรรมฟิล์มบางประเภททางการแพทย์ออปติคัลและไดอิเล็กตริกยังเป็นที่รู้จักกันในนาม "ประจุไฟฟ้าสถิตหรือประจุไฟฟ้าสถิต" เมื่อฟิล์มถูกวางลงบนวัสดุพิมพ์เหตุการณ์ไฟฟ้าสถิตสามารถสร้างความเสียหายให้กับผลิตภัณฑ์ได้ตลอดเวลา
1.3 ผลกระทบของ ESD ต่อการทำงานของอุปกรณ์
ESD จะไม่เพียงสร้างความเสียหายให้กับผลิตภัณฑ์ แต่เหตุการณ์ ESD จะส่งผลกระทบต่ออุปกรณ์การผลิตของผลิตภัณฑ์เช่นกัน ฟังก์ชั่นการควบคุมของอุปกรณ์การผลิตจำนวนมากใช้ไมโครโปรเซสเซอร์และเหตุการณ์ ESD อาจส่งผลกระทบต่ออุปกรณ์การผลิตของผลิตภัณฑ์ ฟังก์ชั่นการควบคุมของอุปกรณ์การผลิตจำนวนมากใช้ไมโครโปรเซสเซอร์, ผลกระทบจากคลื่นแม่เหล็กไฟฟ้า (EMI) หรือผลกระทบการนำที่เกิดจากเหตุการณ์ ESD ที่อาจรบกวนการทำงานของอุปกรณ์ดังกล่าว สัญญาณรบกวนแม่เหล็กไฟฟ้าที่เกิดจากเหตุการณ์ ESD บนอุปกรณ์หนึ่งอาจส่งผลกระทบต่อการทำงานของอุปกรณ์ใกล้เคียง
เนื่องจากระบบอัตโนมัติที่เพิ่มขึ้นของคลีนรูมการดำเนินงานของพวกเขามักจะถูกควบคุมโดยระบบการจัดการโรงงานด้วยคอมพิวเตอร์ (FMS) เมื่อเหตุการณ์ ESD ทำให้เกิดปัญหาข้อมูลกับอุปกรณ์เดียวการดำเนินการทั้งหมดของโรงงานจะได้รับผลกระทบ แม้ว่าการปิดเครื่องโดยปกติจะไม่ใช่ปัญหารุนแรง แต่ก็อาจส่งผลให้เกิดการหยุดทำงานลดความเร็วในการประมวลผลและบางครั้งการสูญเสียผลิตภัณฑ์ ความไร้ประสิทธิภาพของกระบวนการผลิตเพิ่มต้นทุนการผลิต