เงื่อนไขการใช้พัดลมไอออนในการผลิตที่มีเทคโนโลยีสูง

Jan 12, 2022 ฝากข้อความ

เงื่อนไขการใช้พัดลมไอออนในการผลิตที่มีเทคโนโลยีสูง

การเปลี่ยนแปลงเทคโนโลยีโหลดของพัดลมไอออนจะส่งผลต่อการควบคุมวัสดุฉนวนในการผลิตผลิตภัณฑ์ไฮเทค การควบคุมไฟฟ้าสถิตเป็นพื้นฐานในการปรับปรุงประสิทธิภาพการผลิต การปรับปรุงคุณภาพ และเพิ่มผลกำไร ในการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ ฮาร์ดดิสก์ และจอแบน (FPD) การควบคุมไฟฟ้าสถิตเป็นหนึ่งในเงื่อนไขการผลิตขั้นพื้นฐาน ความล้มเหลวในการควบคุมไฟฟ้าสถิตหมายความว่าผลิตภัณฑ์ประสบปัญหาการปนเปื้อนไอออนิกขนาดใหญ่ (ปัญหา ESA) และการปล่อยไฟฟ้าสถิต (ปัญหา ESD) ที่เกิดจากการดึงดูดของไฟฟ้าสถิต


องค์กรต่างๆ เช่น ESD Association และ Semiconductor Equipment and Materials International มีระบบควบคุมไฟฟ้าสถิตที่ช่วยขจัดปัญหาไฟฟ้าสถิต วิธีการหลักคือการใช้วัสดุที่เป็นสื่อกระแสไฟฟ้าและวัสดุกระจายไฟฟ้าสถิต (รวมถึงร่างกายมนุษย์) เพื่อเชื่อมต่อโดยตรงกับโลกเพื่อกระจายไฟฟ้าสถิต อย่างไรก็ตาม ทั้งตัวผลิตภัณฑ์เองและสภาพแวดล้อมการทำงานย่อมใช้วัสดุที่เป็นฉนวน


เมื่อฉนวนเป็นส่วนหนึ่งของผลิตภัณฑ์วัสดุ คุณไม่สามารถเปลี่ยนฉนวนได้ ตัวอย่างเช่น เวเฟอร์ซิลิกอนที่มีชั้นออกไซด์ถูกใช้ในการผลิตผลิตภัณฑ์ไฮเทค อุปกรณ์ตัวนำเดี่ยวที่ห่อหุ้มด้วยอีพอกซีเรซิน วัสดุฉนวนบนหมุดอุปกรณ์ แผงวงจรพิมพ์อีพ็อกซี่ และแผ่นแก้วในอุตสาหกรรม FPDs นอกจากนี้ เทฟลอน ควอตซ์ และวัสดุพลาสติกหลายชนิดยังมีอุณหภูมิสูง ทนต่อการกัดกร่อน และเข้ากันได้กับห้องปลอดเชื้อ แต่เป็นวัสดุฉนวนทั้งหมด การต่อสายดินไม่ได้ขจัดประจุไฟฟ้าสถิตบนวัสดุฉนวน ดังนั้นในกรณีส่วนใหญ่ ทางเลือกเดียวที่เหลืออยู่คือการทำให้เป็นกลางด้วยไอออนไนซ์ในอากาศ ต้องใช้อุปกรณ์กำจัดไฟฟ้าสถิตแบบพิเศษ