แนวคิดพื้นฐานและวิธีการทางเทคนิคในการป้องกันไฟฟ้าสถิต
การคายประจุไฟฟ้าสถิตอาจทำให้เกิดความเสียหายต่ออุปกรณ์ แต่ด้วยมาตรการป้องกัน ESD ที่เหมาะสมและเหมาะสมเพื่อสร้างระบบ ESD สามารถกำจัดหรือควบคุม ESD ได้เพื่อลดความเสียหายให้กับชิ้นส่วนต่างๆ มีแนวคิดพื้นฐานสองประการสำหรับการป้องกันไฟฟ้าสถิตและการควบคุมอุปกรณ์ที่มีความละเอียดอ่อน:
1. (1) ป้องกันการสะสมของไฟฟ้าสถิตในสถานที่ที่อาจมีการต่อลงดินและใช้มาตรการบางอย่างเพื่อหลีกเลี่ยงหรือลดการเกิดไฟฟ้าสถิตหรือใช้วิธีการ“ รั่วไหลขณะสร้างทางด้านข้าง” เพื่อกำจัดการสะสมของประจุไฟฟ้า . ประจุจะถูกควบคุมในระดับที่ไม่ก่อให้เกิดอันตราย
1. (2) สะสมค่าใช้จ่ายสะสมอย่างรวดเร็วและเชื่อถือได้
2.1 วิธีการควบคุมกระบวนการ
ออกแบบมาเพื่อผลิตประจุไฟฟ้าสถิตที่น้อยที่สุดเท่าที่จะเป็นไปได้ในระหว่างกระบวนการผลิต ด้วยเหตุนี้จึงมีการใช้มาตรการจากด้านการไหลของกระบวนการการเลือกวัสดุการติดตั้งอุปกรณ์และการจัดการการดำเนินงานเพื่อควบคุมการสร้างและการสะสมของไฟฟ้าสถิตและเพื่อยับยั้งศักยภาพของไฟฟ้าสถิตและความสามารถในการปล่อยไฟฟ้าสถิตเพื่อไม่ให้เกิน ความเสียหาย เช่นเดียวกับในกระบวนการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ความต้านทานของน้ำ deionized สำหรับล้างจะต้องถูกควบคุมหลังจากกระบวนการแยกรอยต่อตื้นของอุปกรณ์ความเร็วสูงเสร็จสิ้น แม้ว่าความต้านทานจะสูงขึ้น แต่ประสิทธิภาพในการทำความสะอาดก็จะยิ่งดีขึ้น แต่ความต้านทานก็จะยิ่งสูงขึ้นเท่านั้น ดังนั้นจึงถูกควบคุมโดยทั่วไปที่ระดับสูงกว่า 8 MΩเล็กน้อยและไม่สามารถ 16-17 MΩสำหรับกระบวนการเริ่มต้น นอกจากนี้ในการเลือกวัสดุวัสดุบรรจุภัณฑ์ควรใช้วัสดุป้องกันไฟฟ้าสถิตย์พยายามหลีกเลี่ยงวัสดุโพลิเมอร์ที่ไม่ผ่านการบำบัด
2.2 วิธีการรั่วไหล
มันถูกออกแบบมาเพื่อกำจัดไฟฟ้าสถิตย์ผ่านการรั่วไหล โดยปกติการต่อลงดินไฟฟ้าสถิตคือการรั่วไหลของประจุไฟฟ้าสู่โลก นอกจากนี้ยังมีวิธีการเพิ่มการนำไฟฟ้าของวัตถุเพื่อทำให้พื้นดินรั่วไหลตามพื้นผิวหรือภายในของวัตถุเช่นการเพิ่มตัวแทนไฟฟ้าสถิตหรือเพิ่มความชื้น ที่พบมากที่สุดคือสายรัดข้อมือป้องกันไฟฟ้าสถิตย์สวมใส่โดยเจ้าหน้าที่และโพสต์สายดินคงที่
2.3 วิธีการป้องกันไฟฟ้าสถิต
ตามหลักการของการป้องกันไฟฟ้าสถิตก็สามารถแบ่งออกเป็นสองประเภท: การป้องกันสนามภายในและการป้องกันสนามภายนอก มาตรการเฉพาะคือแยกวัตถุที่มีประจุออกจากวัตถุอื่นด้วยฝาปิดหน้าจอที่มีสายดินเพื่อที่สนามไฟฟ้าของวัตถุที่มีประจุจะไม่ส่งผลกระทบต่อวัตถุอื่น ๆ ที่อยู่รอบ ๆ บางครั้งฝาครอบป้องกันจะถูกใช้เพื่อล้อมรอบวัตถุที่แยกออกเพื่อที่จะป้องกันจากสนามไฟฟ้าภายนอก ตัวอย่างเช่นแพ็คเกจอุปกรณ์ GaAs ใช้ตัวเรือนโลหะหรือฟิล์มโลหะ
2.4 วิธีการวางตัวเป็นกลางแบบผสม
มันมีจุดมุ่งหมายที่จะกำจัดค่าคงที่โดยการวางตัวเป็นกลางที่ซับซ้อน การใช้เครื่องกำจัดแบบต่อลงดินเพื่อผลิตคอมเพล็กซ์ด้วยไอออนที่มีประจุบนตัวที่ชาร์จเพื่อให้เกิดการวางตัวเป็นกลาง โดยทั่วไปเมื่อร่างกายที่มีประจุเป็นฉนวนเนื่องจากประจุไฟฟ้าไม่สามารถไหลบนฉนวนได้จึงไม่สามารถใช้วิธีการต่อสายดินเพื่อรั่วไหลของประจุไฟฟ้า ในกรณีนี้ต้องใช้เครื่องกำจัดไฟฟ้าสถิตเพื่อสร้างไอออนที่แตกต่างกันเพื่อทำให้เป็นกลาง วิธีนี้ใช้สำหรับกำจัดประจุไฟฟ้าสถิตที่เกิดขึ้นบนสายพานลำเลียง
2.5 มาตรการสะอาด
ออกแบบมาเพื่อหลีกเลี่ยงการคายประจุเป็นระยะ ๆ ด้วยเหตุนี้พื้นผิวของวัตถุที่มีประจุและวัตถุโดยรอบควรถูกเก็บไว้อย่างราบรื่นและสะอาดที่สุดเท่าที่จะเป็นไปได้เพื่อลดความเป็นไปได้ของการปล่อยประจุเป็นระยะ