อันตรายคงที่ในห้องสะอาด
อุบัติเหตุที่เกิดจากไฟฟ้าสถิตย์ในโรงงานที่ปราศจากฝุ่นเกิดขึ้นบ่อยครั้งดังนั้นความสามารถในการป้องกันไฟฟ้าสถิตย์ของห้องสะอาดจึงกลายเป็นสิ่งที่ไม่ควรมองข้ามในการประเมินคุณภาพ ไฟฟ้าสถิตที่เรียกว่าเกิดจากแรงเสียดทานหรือชอบที่จะทำลายประจุ (+) ลบ <1)> เนื่องจากประจุเหล่านี้ไม่ไหลตลอดเวลาจึงเรียกว่าไฟฟ้าสถิต
อุบัติเหตุที่เกิดจากไฟฟ้าสถิตย์ในห้องสะอาดมีประเด็นต่อไปนี้:
1. ไฟฟ้าช็อตไฟฟ้าสถิตที่เกิดจากไฟฟ้าสถิตย์ทำให้ความไม่มั่นคงและความกลัวของมนุษย์และอาจทำให้เกิดการบาดเจ็บรอง (ตัวอย่างเช่นคนตกเนื่องจากไฟฟ้าช็อตและตกและตก);
2. ใช้กันอย่างแพร่หลายเนื่องจากการปล่อยไฟฟ้าสถิต กระแสไฟฟ้าที่ปล่อยออกมาอาจทำให้เกิดความเสียหายและการทำงานผิดพลาดเช่นส่วนประกอบเซมิคอนดักเตอร์ ตัวอย่างเช่น 50 P-MOS วงจรจะถูกวางไว้ในถุงพลาสติก หลังจากเขย่าหลายครั้งประตูเกต NAND จะพังอย่างรุนแรง 39 ชิ้นและประสบความสำเร็จในอัตราล้มเหลว 78% เนื่องจากอุปกรณ์เซมิคอนดักเตอร์มีความอ่อนไหวต่อการคายประจุไฟฟ้าสถิตมาก
3. คลื่นแม่เหล็กไฟฟ้าที่เกิดจากการคายประจุไฟฟ้าสถิตในห้องสะอาดสามารถทำให้เกิดเสียงและความผิดปกติของเครื่องมือและอุปกรณ์อิเล็กทรอนิกส์
4. การเรืองแสงของการคายประจุไฟฟ้าสถิตสามารถทำให้เกิดความเสียหายต่อภาพถ่ายของแขนขาและสิ่งอื่นที่คล้ายคลึงกัน;
5. ปรากฏการณ์ทางกลของกระแสไฟฟ้าสถิตย์ในโรงงานที่ปราศจากฝุ่นสามารถทำให้รูของหน้าจอถูกปิดกั้นโดยฝุ่นละอองเส้นด้ายปั่นหมุนไม่สม่ำเสมอพิมพ์ไม่สม่ำเสมอและผลิตภัณฑ์ปนเปื้อน
การเกิดอุบัติเหตุไฟฟ้าสถิตส่วนใหญ่เกิดจากการสร้างและการสะสมของไฟฟ้าสถิตย์การไหลของอากาศความเสียดทานของลมและท่อtuyèresฟิลเตอร์ ฯลฯ แรงเสียดทานระหว่างร่างกายมนุษย์และเสื้อผ้าความเสียดทานระหว่างเสื้อผ้า การบดในกระบวนการการฉีดพ่นเจ็ทการซักการกวนการเชื่อมและการลอก ฯลฯ ซึ่งทั้งหมดนี้อาจทำให้เกิดไฟฟ้าสถิตย์ ภายใต้สถานการณ์ปกติตัวนำที่ไม่ใช่ (ฉนวน) ที่มีค่าการนำไฟฟ้าต่ำในห้องคลีนรูมจะไม่ไหลเวียนได้ง่ายหลังจากที่ประจุไฟถูกสร้างขึ้นดังนั้นจึงชาร์จได้ง่ายขึ้น
ปัญหาคงที่ในการประชุมเชิงปฏิบัติการฝุ่นเป็นเรื่องร้ายแรงโดยเฉพาะอย่างยิ่งในการประชุมเชิงปฏิบัติการฝุ่นเพราะไม่เพียง แต่มีปัจจัยกระบวนการต่าง ๆ ดังกล่าวข้างต้นสำหรับการผลิตไฟฟ้าสถิตย์ในห้องสะอาด แต่ยังเพราะวัสดุหลายอย่างในห้องปลอดเชื้อเช่น พื้นพลาสติก, ผนัง, ไนลอน, เครื่องแบบและเครื่องแบบอื่น ๆ ทั้งหมดมีความต้านทานไฟฟ้าสูงซึ่งมีแนวโน้มสูงที่จะเกิดไฟฟ้าสถิตและไฟฟ้าสถิต วัสดุเหล่านี้มีการใช้กันอย่างแพร่หลายก่อนที่จะเกิดความเสียหายจากไฟฟ้าสถิตในห้องปลอดเชื้อ