การควบคุมแบบคงที่ของห้องสะอาด

การควบคุมแบบคงที่ของห้องสะอาด

1.หลักการพื้นฐานของการควบคุมแบบคงที่

(1)กําหนดระดับการควบคุมแบบคงที่

(2)ลดการสร้างของค่าใช้จ่ายคงที่

(3)วิธีการของการระบายอากาศและการทําให้เป็นกลางเร่งการกระจายของค่าใช้จ่ายคงที่และป้องกันการสะสมของไฟฟ้าสถิตย์

(4)ปกป้องผลิตภัณฑ์จากความเสียหายesd

2.กําหนดระดับของการควบคุมแบบคงที่

(1)การจําแนกประเภทของความไวไฟฟ้าสถิตของส่วนประกอบ, ส่วนประกอบและอุปกรณ์

ระดับ 1: ได้รับความเสียหายได้ง่ายจากแรงดันไฟฟ้าไฟฟ้าสถิต 0-1999V

ระดับ 2: ได้รับความเสียหายได้ง่ายจากแรงดันไฟฟ้าไฟฟ้าสถิต 2000-3999V

ระดับ3: ความเสียหายได้อย่างง่ายดายโดย4000-5999vแรงดันไฟฟ้าไฟฟ้าสถิต

หากแรงดันไฟฟ้าคงที่ที่ละเอียดอ่อนมากกว่า 16000V ไม่จําเป็นต้องใช้มาตรการป้องกันไฟฟ้าสถิตย์

(2)การจําแนกประเภทของการป้องกันไฟฟ้าสถิตพื้นที่ทํางาน

ชั้น A: อนุญาตให้ศักยภาพไฟฟ้าสถิตกับพื้นไม่เกิน ±100V

คลาส B: อนุญาตให้ศักยภาพไฟฟ้าสถิตกับพื้นไม่เกิน ±1000V

ในโครงการจริงศักยภาพไฟฟ้าสถิตไม่เกิน 3 ระดับของแรงดันไฟฟ้าที่ไวต่อไฟฟ้าสถิตของส่วนประกอบส่วนประกอบและอุปกรณ์ที่เกี่ยวข้องเช่น 100V, 500V และ 1000V

3.ลดการสร้างของค่าใช้จ่ายคงที่มากที่สุดเท่าที่เป็นไปได้

นี่เป็นขั้นตอนแรกในไตรภาคของการควบคุมแบบคงที่ ในสภาพแวดล้อมการทํางานที่สะอาดนี้มาตรการที่ดีที่สุดคือ:

(1)พยายามที่จะใช้อุปกรณ์ที่มีคุณสมบัติคล้ายกันเพื่อลดประจุไฟฟ้าสถิตที่สร้างขึ้นในระหว่างกระบวนการแยกแรงเสียดทานติดต่อ;

(2)พยายามที่จะใช้ไฟฟ้าสถิตเป็นสื่อนําไฟฟ้าหรือคงกระจายวัสดุเพื่อลดการสะสมของค่าใช้จ่ายคงที่ในระหว่างกระบวนการของแรงเสียดทานติดต่อและการแยก;

(3)พยายามที่จะใช้กระบวนการผลิตที่ช่วยลดประจุไฟฟ้าสถิตที่เกิดจากการสัมผัสแยกแรงเสียดทานของ

4.ปล่อยและการทําให้เป็นกลาง

นี่เป็นขั้นตอนแรกในกระบวนการสามขั้นตอนในการควบคุมไฟฟ้าสถิตย์ มาตรการปกติในห้องสะอาดของการผลิตไมโครอิเล็กทรอนิกส์คือสายดินโดยใช้วัสดุนําไฟฟ้าหรือกระจายเพื่อปล่อยประจุไฟฟ้าสถิตและการกระจายไอออนเพื่อต่อต้านประจุไฟฟ้าสถิต

(1)สายดิน

ห้องสะอาดควรติดตั้งระบบสายดินไฟฟ้าสถิตอิสระ (รวมถึงระบบรองรับตาข่ายโลหะสายดินระบบสนับสนุนเวิร์กสเตชันสายการผลิต) เพื่อให้เปลือกโลหะของอุปกรณ์ทั้งหมดในห้องรองรับโลหะสําหรับอุปกรณ์มือถืออุปกรณ์ป้องกันไฟฟ้าสถิตย์ ฯลฯ สามารถปล่อยประจุไฟฟ้าสถิตได้อย่างปลอดภัยและมีประสิทธิภาพ วางมันลงกับพื้น ไฟฟ้าที่ชาร์จของพนักงานจะถูกต่อสายดินผ่านสายรัดข้อมือและถูกปล่อยออกมาที่พื้นผ่านรองเท้าป้องกันไฟฟ้าสถิตย์หรือสายรัดส้นเท้าจากนั้นผ่านพื้นดินป้องกันไฟฟ้าสถิตย์ พื้นดิน, ผนัง, เพดาน, พาร์ทิชัน, ฯลฯของเป็น hard grounded, ในขณะที่เปลือกอุปกรณ์, อุปกรณ์มือถือ (รถยนต์, เก้าอี้, ชั้นวาง, ฯลฯ ), workbenches, ฯลฯ จะอ่อนสายดิน.

(2)ไอออนิไดซ์เสี่ยวไฟฟ้า

ส่วนประกอบและ PCBs ที่ผลิตและประกอบในห้องสะอาดสายการผลิตและเวิร์กสเตชันเป็นสิ่งที่หลีกเลี่ยงไม่ได้ว่ามีตัวนําฉนวนและวัสดุอิเล็กทริกฉนวน (เช่นพลาสติกธรรมดาส่วนใหญ่) ที่ไม่สามารถต่อสายดินได้ ในบางสภาพแวดล้อมมักใช้เครื่องกําจัดไอออนไนซ์เพื่อกระจายประจุไฟฟ้าสถิตบนวัตถุเหล่านี้ในท้องถิ่นและบ่อยครั้งขึ้นโดยใช้ไอออนไนซ์อากาศเพื่อต่อต้านประจุไฟฟ้าสถิตบนตัวนําฉนวนและตัวนําแยก

(3)ไฟฟ้าสถิตและวัสดุกระจายไฟฟ้าสถิต

วัสดุนําไฟฟ้าไฟฟ้าสถิตและวัสดุกระจายตัวแบบคงที่ยังเป็นวัสดุปล่อยประจุไฟฟ้าสถิตที่ดีมากเนื่องจากการนําไฟฟ้าสถิตและปลอดภัยกว่าการปล่อยตัวนําโลหะ พวกเขามักจะใช้เป็นพื้นผนังโต๊ะทํางานและภาชนะหมุนเวียน แหนบแปรงและอุปกรณ์ป้องกันไฟฟ้าสถิตย์อื่น ๆ

5.ป้องกันesdและปกป้องผลิตภัณฑ์

นี่เป็นขั้นตอนสุดท้ายในไตรภาคของการควบคุมไฟฟ้าสถิตย์ ในห้องสะอาดของการผลิตไมโครอิเล็กทรอนิกส์เพื่อป้องกันไม่ให้ ESD เกิดขึ้นกับส่วนประกอบหรือส่วนประกอบที่ไวต่อไฟฟ้าสถิต PCBs วิธีหนึ่งคือการจัดหาสายดินหรือ shunts ที่เหมาะสมสําหรับส่วนประกอบและส่วนประกอบเพื่อ "กระจาย" ไฟฟ้าสถิตที่มีอยู่ในผลิตภัณฑ์ ค่าธรรมเนียม; สินค้า อีกวิธีหนึ่งคือการใช้วิธีการบรรจุภัณฑ์และวัสดุที่เหมาะสมเพื่อจัดการบรรจุภัณฑ์และการขนส่งอุปกรณ์ที่ไวต่อไฟฟ้าสถิต วัสดุเหล่านี้สามารถป้องกันการบุกรุกของประจุไฟฟ้าเข้าสู่ผลิตภัณฑ์ได้อย่างมีประสิทธิภาพและลดประจุไฟฟ้าสถิตที่เกิดจากการเคลื่อนไหวของผลิตภัณฑ์ในกล่องบรรจุภัณฑ์

ในระดับนานาชาติเซมิคอนดักเตอร์จอแสดงผลคริสตัลเหลวแบนและออปโตอิเล็กทรอนิกส์ได้พัฒนาอย่างรวดเร็วโดยมีระดับการรวมที่สูงขึ้นและสูงขึ้นเส้นผ่านศูนย์กลางลวดชิปทินเนอร์และความต้องการที่สูงขึ้นและสูงขึ้นสําหรับการป้องกันไฟฟ้าสถิตย์ สมาคม ESD อเมริกันได้เริ่มแก้ไขโปรแกรมการควบคุมการปล่อยไฟฟ้าสถิต ANS ESD S 20.20-1999 และได้ทําการแก้ไขการจัดประเภทความไวไฟฟ้าสถิต SSD

สิ่งนี้ช่วยให้ผู้ใช้ส่วนประกอบได้รับคําเตือนไม่ว่าบุคลากรหรืออุปกรณ์จะทําอุปกรณ์เมื่อใดให้บอกข้อกําหนดการควบคุมสิ่งแวดล้อมที่จําเป็น หากแรงดันไฟฟ้าที่อนุญาตในพื้นที่ EPA ถึง 25V ฉันกลัวว่าอุปกรณ์และวิศวกรรมป้องกันไฟฟ้าสถิตย์ที่มีอยู่ของเราจะต้องผ่านการทํางานหนัก